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可(kě)吸入颗粒物(wù)检测仪
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龙行龘龘 ！TSI®中國(guó)2024 授权分(fēn)销商(shāng)大会在京成功举办！
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采样解决方案--用(yòng)于半导體(tǐ)晶片制造（Fab）的工作场所
室内空气中各类指标的检验方法
室内空气中各类指标的检验方法
|
序号 |
指标类别 |
具體(tǐ)指标 |
检验方法 |
方法来源 |
备注 |
|
1 |
物(wù)理(lǐ)性 指标 |
温度 |
一，玻璃液體(tǐ)温度计法 |
GB/T 18204.1（3.1） |
/ |
|
二，数显式温度计法 |
GB/T 18204.1（3.2） |
||||
|
2 |
相对湿度 |
一，電(diàn)阻電(diàn)容法 |
GB/T 18204.1（4.3） |
/ |
|
|
二，干湿球法 |
GB/T 18204.1（4.1） |
||||
|
第三法，氯化锂露点法 |
GB/T 18204.1（4.2） |
||||
|
3 |
空气流速 |
電(diàn)风速计法 |
GB/T 18204.1（5） |
/ |
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4 |
新(xīn)风量 |
一，示踪气體(tǐ)法 |
GB/T 18204.1（6.1） |
/ |
|
|
二，风管法 |
GB/T18204.1（6.2） |
||||
|
5 |
化學(xué)性 指标 |
臭氧 |
一，靛蓝二磺酸钠分(fēn)光光度法 |
GB/T 18204.2（12.2）、HJ 504 |
一连续采样至少45 min，推荐采样流量0.4 L/min；二為(wèi)直读法，监测至少45 min，推荐监测间隔10 min ~ 15 min，结果以时间加权平均值表示 |
|
二，紫外光度法 |
HJ 590 |
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6 |
二氧化氮 |
一，改进的Saltzaman法 |
GB/T 12372 |
一和二连续采样至少45 min，推荐采样流量0.4 L/min；第三法為(wèi)直读法，监测至少45 min，推荐监测间隔10 min ~ 15 min，结果以时间加权平均值表示 |
|
|
二，Saltzaman法 |
GB/T15435 |
||||
|
第三法，化學(xué)发光法 |
HJ/T 167（附录C.2） |
||||
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7 |
二氧化硫 |
甲醛溶液吸收-盐酸副玫瑰苯胺分(fēn)光光度法 |
GB/T16128 |
连续采样至少45 min，推荐采样流量0.5 L/min |
|
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8 |
二氧化碳 |
不分(fēn)光红外分(fēn)析法（非分(fēn)散红外法） |
GB/T18204.2（4.1） |
直读法，筛选法监测至少45 min，推荐监测间隔10 min ~ 15 min，累积法监测至少20 h，推荐监测间隔至少1 h，结果均以时间加权平均值表示 |
|
|
9 |
一氧化碳 |
不分(fēn)光红外分(fēn)析法（非分(fēn)散红外法） |
GB/T 18204.2（3.1） |
直读法，监测至少45 min，推荐监测间隔10 min ~ 15 min，结果以时间加权平均值表示 |
|
|
10 |
甲醛 |
一，AHMT分(fēn)光光度法 |
GB/T 16129 |
连续采样至少45min，一推荐采样流量0.4 L/min，二推荐采样流量0.2 L/min，第三法推荐采样流量1.0 L/min |
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二，酚试剂分(fēn)光光度法 |
GB/T18204.2（7.2） |
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|
第三法，高效液相色谱法 |
附录B |
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11 |
氨 |
一，靛酚蓝分(fēn)光光度法 |
GB/T18204.2（8.1） |
连续采样至少45 min，一推荐采样流量0.4 L/min，二推荐采样流量1.0 L/min，第三法推荐采样流量0.5 L/min |
|
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二，纳氏试剂分(fēn)光光度法 |
HJ 533 |
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第三法，离子选择電(diàn)极法 |
GB/T14669 |
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12 |
苯 |
一，固體(tǐ)吸附-热解吸-气相色谱质谱法 二，固體(tǐ)吸附-热解吸-气相色谱法 第三法，活性炭吸附-二硫化碳解吸-气相色谱法 第四法，便携式气相色谱法 |
附录F 附录C 附录C 附录C |
/ |
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13 |
甲苯 |
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14 |
二甲苯 |
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15 |
苯并[a]芘 |
高效液相色谱-荧光检测器法 |
附录D |
/ |
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16 |
可(kě)吸入颗粒物(wù) |
撞击式——称量法 |
附录E |
/ |
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17 |
细颗粒物(wù) |
撞击式——称量法 |
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18 |
总挥发性有(yǒu)机化合物(wù) |
固體(tǐ)吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
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19 |
三氯乙烯 |
固體(tǐ)吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
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20 |
四氯乙烯 |
固體(tǐ)吸附-热解吸-气相色谱质谱法 |
附录F |
/ |
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21 |
生物(wù)性 指标 |
细菌总数 |
撞击法 |
附录G |
/ |
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22 |
放射性 指标 |
氡222Rn |
一，固體(tǐ)径迹测量方法 二，连续测量方法（筛选法） 第三法，活性炭盒测量方法（筛选法） |
附录H |
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